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GRDLC系列(diamond-like carbon)专用镀膜设备

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GRDLC系列(diamond-like carbon)专用镀膜机

采用反应气体等离子源辅助沉积,对工件进行预清洗及镀膜时的辅助沉积;采用大功率的脉冲偏压电源,增强膜层的附着力;采用多套孪生靶及弧,可同时安装2-6种不同纯金属或合金靶材,获得复合纳米镀层;工件架采用公自转结构,称重能力强及耐高温,并可移动出腔体,方便装卸比较重的模具,或根据客户要求定制,采用变频器调节,转速无极可调节;采用触摸屏及PCL,可实现全自动控制,自动和手动随时切换。

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